株式会社ジーダット

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ExpertLCD
リアル製造プロセスを実装 低メッシュ依存のRC抽出シミュレーション

ExpertRC

プロセス工程にもとづいた3次元構造生成

プロセス工程にもとづいた3次元構造生成

・デポジション、マスク、エッチングで生成
・多様な形状を生成

実構造内の容量と抵抗を抽出

実構造内の容量と抵抗を抽出

・軸異方材料の容量も抽出
・コンタクトを含む多層配線の全体抵抗を抽出

少ないメッシュで高精度

・メッシュ依存性の少ないRC抽出ソルバ
・複雑な構造でも安定したメッシュ生成

少ないメッシュで高精度

GDSⅡを読み計算領域を複数設定

GDSファイルをそのまま使えます。
境界条件は自動設定されます。

材料の選択・編集が便利

材料情報の管理を単一ファイルの統合システムでお手伝いします。

シミュレーション設定の向上が容易

設定を保存して、いつでも再利用できます。

STRUCTURE

STRUCTURE

プロセス工程の結果を可視化するStructure機能
プレビュー機能で表示される各材料の形状や厚みを確認できます

強力な自動メッシュ機能

強力な自動メッシュ機能

狭い箇所の複雑に重なり合う構造でも、事前の設定作業なしにそのままメッシュが自動生成されます。

半導体やディスプレイなどの電子デバイス向けRC抽出ツール

User friendly interface

ExpertRCの長所

・適応性のある構造生成
・2軸異方性材料まで対応
・多層配線の全体抵抗を抽出
・マルチコア高速並列計算
・メッシュサイズ依存性が小

システム要求

Hardware:WindowsPC
OS:Windows 7,8,10, Windows Server 2012, 2012R2(64bit)
CPU:3.0GHz以上 12コア以上推奨
Memory:8GB以上