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デバイス雑音測定ツール

NoiseProPlus/9812DX

9812DX: 全世界で100社以上が採用している業界のデファクトスタンダード
9812シリーズの最新機種

9812DXイメージ
従来機9812Dシステムを、測定スピード・分解能・測定項目において拡張 :
システム分解能10倍、解析速度 3-10倍
 ● 200Vまでの高電圧、および 0.1nA までの微小な電流に対応
 ● 測定下限周波数 0.03Hz を実現
 ● システム分解能 <1×10-27A2/Hz
 ● インピーダンスマッチング範囲 10-10MΩ
 ● MOSFET (FinFET, FD-SOI)、BJT、 JFET、 ダイオード、抵抗、ICに対応
 ● 16/14/10/7nmテクノロジに対応
NoiseProPlus
 ● 9812DX/D/B/A および 主要IVメータをサポート
 ● Cascade/SUSS/MPI /HiSOL社のプローブステーションに対応
 ● マルチモード/マルチデバイス/マルチバイアスの自動測定をサポート
 ● 1/f RTN 雑音の同時解析
 ● 統計雑音モデル解析可能

適用範囲

  • ● テクノロジ開発におけるプロセス品質モニタリング
  • ● Spice モデルパラメータ抽出における雑音解析
  • ● 先端回路設計におけるプロセス/デバイス評価

主要諸元

  • ● 電圧LNA : <0.03-10MHz, 0.65nV/√Hz (@5kHz)
  • ● 電流LNA : <0.03-1MHz, 0.7pA/√Hz (@5kHz)
  • ● 高精度、または広帯域 電流LNA : オプション
  • ● 17種類のゲート/ベース抵抗、15種類のドレイン/コレクタ抵抗
  • ● プログラマブルバイアス電源フィルタ
  • ● 最大端子電圧/電流 : 100V, 100mA (標準), 200V, 200mA (オプション)
  • ● 最小直流電流分解能 : 0.1nA
  • ● 標準雑音測定時間 : 10sec
  • ● ESD 保護素子内蔵
  • ● 16bit ADC/DSA, GPIBカード内蔵
  • ● インピーダンスマッチング範囲 : 10-10MΩ
  • ● RTN測定能力 : 最大960kポイント

微小電流下での雑音測定例