DFM・マスク検証

大規模データ対応解析ブラウザ

HOTSCOPE

100GBのCADデータ、TBオーダのマスクデータに対応した高速オープン＆高速表示
各種解析機能による総合的なLSI/FPD等の検査・解析環境を実現
高機能API、高級スクリプト言語AXELによる高い拡張性

  • 超大規模データの高速処理
  • 設計データ・フォトマスクデータ・画像ファイルの重ね合わせ表示
  • 誰でも簡単に使える直感的な操作性
  • 充実した測長機能を中心とした各種解析機能
  • 高度な等電位追跡と回路図生成
  • 共通の簡易ルールによる連動表示に対応した断面・3D表示
  • 各種装置と連携し装置稼働率向上により検査・解析環境を最適化
  • 各種装置の制御プラットフォームに採用

■HOTSCOPE上に製造・検査・解析装置のI/F機能等を追加したカスタマイズツール・製品の事例

  • ジーダット開発部門により特定装置とのI/F機能を追加したカスタマイズツール運用 （OEM製品も有り）

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