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株式会社ジーダット
リアル製造プロセスを実装 低メッシュ依存のRC抽出シミュレーション
ExpertRC
■プロセス工程にもとづいた３次元構造生成
- デポジション、マスク、エッチングで生成
- 多様な形状を生成
■実構造内の容量と抵抗を抽出
- 軸異方材料の容量も抽出
- コンタクトを含む多層配線の全体抵抗を抽出
■少ないメッシュで高精度
- メッシュ依存性の少ないRC抽出ソルバ
- 複雑な構造でも安定したメッシュ生成
■GDSⅡを読み計算領域を複数設定
GDSファイルをそのまま使えます。
境界条件は自動設定されます。
■ 材料の選択・編集が便利
材料情報の管理を単一ファイルの統合システムでお手伝いします。
■シミュレーション設定の向上が容易
設定を保存して、いつでも再利用できます。
■STRUCTURE
プロセス工程の結果を可視化するStructure機能
プレビュー機能で表示される各材料の形状や厚みを確認できます
■ 強力な自動メッシュ機能
狭い箇所の複雑に重なり合う構造でも、事前の設定作業なしにそのままメッシュが自動生成されます。
■ 半導体やディスプレイなどの電子デバイス向けRC抽出ツール
■ ExpertRCの長所
- 適応性のある構造生成
- ２軸異方性材料まで対応
- 多層配線の全体抵抗を抽出
- マルチコア高速並列計算
- メッシュサイズ依存性が小
■システム要求
Hardware：WindowsPC
OS： Windows 8.1,10,11 Windows Server 2012, 2012R2(64bit)
CPU： 3.0GHz以上 12コア以上推奨
Memory： 16GB以上