レチクル設計

ステッパ方式の露光装置向けレチクル設計を強力に支援

  • 面取りの検討
  • レチクルセルの作成
  • ステッパ方式に伴うパネル分割

レチクルフロアプランツール

SX-Meister FineRFP

■レチクル設計を強力に支援

  • セル自動分割とブラインド・補助パターン自動生成
  • ショット配置の検討が容易
    ガラス基板とレチクル間のクロスプローブ
  • 豊富なチェック機能
    ステージ移動可能量、ストロークを考慮した露光可能性チェック、ブラインド領域チェック、ショット間クリアランスチェック、　ストローク違反チェック
  • レシピ情報を出力（ショット、アライメントマークの中心座標出力〈CSV、Text〉）

ガラスフロアプランツール

SX-Meister FineGFP

■多面取りガラス基板設計を強力に支援

  • 基本ショットとレチクルパラメータからガラス基板を設計
    多面取り条件を追求し易い機能を装備
    ガラス基板、レチクルセル出力
  • ガラス基板とショット情報から最適なレシピ情報の見積もり
  • ガラス基板とレチクルから面付け、レシピ情報を出力
  • レシピ情報からショットをハイライト

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